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高溫高真空CVD一體機

發(fā)布時(shí)間：2022-08-16  瀏覽次數：1910

設備簡(jiǎn)介：

NBD-CVD系列高溫爐整體采用國際先進(jìn)制造工藝，并且從美學(xué)藝術(shù)角度出發(fā)，根據人體安全的角度進(jìn)行設計。

控制數學(xué)模型采用先進(jìn)的PID自學(xué)習模糊控制，使控溫精度保持在±1℃。經(jīng)過(guò)長(cháng)期多次的各種試樣實(shí)驗驗證，幾乎可以適用于所有類(lèi)型材料的焙燒。


  

 

 

 

 

 

 


技術(shù)參數： 

  設備設備采用15.6英寸大尺寸全觸屏智能人機交互系統，高真空分子泵機組，新一代無(wú)油渦旋真空泵作為前級泵，以及高精度氣體質(zhì)量流量控制系統，可以實(shí)現樣品在高精度氣體控制、高溫（Tmax：1650℃）條件下的智能化操作。

產(chǎn)品型號

NBD-T1700-80T22G3Z

最高溫度

1700℃

額定溫度
 1650℃

控溫精度

±1℃

觸摸屏尺寸

15.6英寸

額定功率 10KW

傳感器類(lèi)型

B型

推薦升溫速率

≤10/min

爐管尺寸
 ?80*1200mm 
極限真空度

6×10-4Pa

爐體外形凈尺寸
 長(cháng)1690×高1410×深765mm

 無(wú)油渦旋式干式真空泵  （前級泵，具有結構簡(jiǎn)單，密封性能好，極限真空高等優(yōu)點(diǎn)。在應用方面具有運行成本低、工作壽命長(cháng)、可靠性高、噪音低等顯著(zhù)特點(diǎn)，在無(wú)油清潔應用領(lǐng)域有著(zhù)不可比擬的優(yōu)勢。）


     控制系統     


1、燒結工藝曲線(xiàn)設置：動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn)，設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn)，每條工藝曲線(xiàn)可自由設置；
2、可預約燒結，實(shí)現無(wú)人值守燒結工藝曲線(xiàn)燒結；
3、實(shí)時(shí)顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實(shí)現無(wú)紙記錄；
4、具有實(shí)現遠程操控，實(shí)時(shí)觀(guān)測設備狀態(tài)；
5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正。

氣體系統（可選購）

流量計類(lèi)型

浮子流量計

質(zhì)量流量計

管道示意圖

 

 

進(jìn)氣接口數量

2、3、4（多路可選）

流量范圍

20-200/60-600l/min(多量程可選)

50/100/200sccm(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統（可選購）

真空泵型號

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽氣速率

1L/s

3L/s

4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

Φ8mm寶塔接頭

Φ8mm寶塔接頭

KF16/25

極限壓力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規格

AC220V

分子泵高真空系統

（可選購）

分子泵系統型號

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽氣速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空測量計

復合真空計

極限壓力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非標定做，更多型號，歡迎來(lái)電垂詢(xún)400-000-3746

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