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RTP快速退火爐

發(fā)布時(shí)間:2017-11-15  瀏覽次數:22295

設備簡(jiǎn)介:

  快速退火爐簡(jiǎn)稱(chēng) RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),不但擁有非??斓纳郎厮俾?,而且在燒結工藝運行完結后,直接將試樣移動(dòng)至室溫下,實(shí)現物理狀態(tài)下的快速降溫。設備采用了內管進(jìn)氣、外管出氣的氣路結構,使得反應氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。退火爐是CVD法生長(cháng)大尺寸二維石墨烯的常用設備。測溫元件直接和試樣接觸,保證試樣溫度的準確性。



 

 

 


配置詳情

設備特點(diǎn) 

1、雙層鋼結構;

 2、高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,最大節約能源;

 3、耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長(cháng)使用壽命;

 4、氧化鋁管塞可幫助您在管內建立自定義的溫度梯度;

 5、該設備是國家專(zhuān)利保護產(chǎn)品,專(zhuān)利號:CN201310005931.6。

產(chǎn)品型號

NBD-HR1200-110TI

電氣規格

AC380V   15KW

可達溫度

1100 ℃(長(cháng)時(shí)間使用必須外接水冷裝置)

長(cháng)期使用溫度范圍

300~1150℃ (連續使用必須外接水冷裝置)

可達加熱速率

建議≤ 100 ℃/S

加熱區長(cháng)度

200mm

傳感器類(lèi)型

S型單鉑銠

反應腔室內徑尺寸

Φ100X200mm

式樣有效空間

3.5"

爐管尺寸

Φ80*120mm

控制系統

 

 1、可預存15條溫度曲線(xiàn),避免不同的實(shí)驗工藝重復設置帶來(lái)的麻煩;

 2、實(shí)驗過(guò)程更加直觀(guān),操作更加便捷;

 3、NBD-101E嵌入式操作系統中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話(huà)模式,非線(xiàn)性式樣溫度修正;

 4、具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。

溫度精度

+/- 1 ℃

加熱元件

 

紅外燈管加熱

密封系統

 

 

 

真空度:≤5Pa(機械泵)

壓力測量與監控

 

采用數顯真空計,可使設備爐管內的真空度顯示更加直觀(guān),實(shí)驗結果更加準確。

凈重

90KG

設備使用注意事項

   1、設備爐膛溫度≥300℃時(shí),移動(dòng)爐膛后,禁止觸碰原爐膛所在位置的石英管,避免受到傷害;

2、設備爐膛溫度≥300℃時(shí),禁止打開(kāi)爐膛,避免受到傷害;

3、設備使用時(shí),爐管內壓力不得超過(guò)0.125MPa(絕對壓力),以防止壓力過(guò)大造成設備損壞;

4、真空下使用時(shí),設備使用溫度不得超過(guò)800℃。

   5、供氣鋼瓶?jì)炔繗鈮狠^高,向爐管內通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在選購試驗用小壓力減壓閥,減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時(shí)會(huì )更加精確安全。

   6、當爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態(tài);

   7、高純石英管的長(cháng)時(shí)間使用溫度≦1100℃

   8、加熱的實(shí)驗時(shí),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數,若絕對壓力表讀數大于0.15MPa,必須立刻打開(kāi)排氣端閥門(mén),以防意外發(fā)生(如爐 管破裂等)

服務(wù)支持

1年質(zhì)保,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件,例如爐管和O形圈等) 


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