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祝賀東莞市人民醫院定制PECVD順利交付使用

發(fā)布時(shí)間：2023-03-28  瀏覽次數：2229

2023年3月27日，我司為東莞市人民醫院（南方醫科大學(xué)附屬醫院）定制的智能PECVD系統順利交付使用。

PECVD(等離子體增強化學(xué)氣相沉積)可以生產(chǎn)出僅靠普通 CVD 技術(shù)無(wú)法產(chǎn)生的獨特化合物和薄膜，并生產(chǎn)出具有極高耐溶劑性和耐腐蝕性以及化學(xué)和熱穩定性的薄膜，廣泛用于半導體工業(yè)制造集成電路，在光伏、摩擦學(xué)、光學(xué)和生物醫學(xué)領(lǐng)域也有許多應用。

在生物醫學(xué)領(lǐng)域，通過(guò)生產(chǎn)純度極高的致密惰性涂層，PECVD 在醫療植入物研究方面也具重要應用作用。
東莞市人民醫院始建于1888年，是一家集醫療、教學(xué)、科研及預防保健為一體的大型綜合性三級甲等醫院。2021年3月，醫院入選廣東省高水平醫院重點(diǎn)建設醫院。為加大生物醫學(xué)研究力度，東莞市人民醫院轉化醫學(xué)研究中心通過(guò)公開(kāi)競標和綜合評估，選定我司為其研究項目提供定制PECVD系統。
該PECVD系統由RF射頻系統、氣體質(zhì)量流量控制系統、襯底控溫系統、真空系統組成，采用集中總線(xiàn)控制技術(shù)的諾巴迪智能人機交互觸控系統，確保實(shí)驗過(guò)程的便捷、直觀(guān)、高效。

通過(guò)我司售后技術(shù)人員的培訓交接，得到了現場(chǎng)驗收及操作人員的充分肯定，設備順利通過(guò)驗收。


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